电影天堂网免费在线观看

欢迎来到 阿仪网

电影天堂网免费在线观看 | 产品 | 求购 | 资讯 | 专题 | 找厂商 | 打听 | 人才 | 品牌 | 资料 | 技术文献 | 展会 | 耗材 | 配件 | 新品 | 促销 | 书籍 | 招标 | 优质仪器
广告
广告

您的位置:电影天堂网免费在线观看>仪器仪表资讯>行业动态>电影天堂网免费在线观看 新型光刻技术解决硅材料脆性难题,MEMS机械性能极限有望突破

新型光刻技术解决硅材料脆性难题,MEMS机械性能极限有望突破

发布时间:2020/6/29编辑:Ma Liang 人气:684

  【阿仪网 行业资讯】据麦姆斯咨询介绍,硅材料从大自然常见的沙子中取材,成本低、产量大,因此被广泛用作MEMS器件的衬底材料,并被誉为信息时代的“骨干”材料。但是,硅在常温环境下的脆性限制了MEMS的许多机械性能。苏黎世联邦理工学院(ETH)与瑞士国家联邦实验室(EMPA)材料与纳米结构力学实验室合作完成的新研究表明,在特定的受控条件下,硅可以成为又容易变形又坚固的材料。此项功能特性的增强将有助于解决MEMS机械性能极限难题。
电子显微镜下的硅柱形貌


历经十年的研究成果

联合小组经过长达十年的研究,重点是采用光刻工艺替代聚焦离子束(FIB)工艺来完成在硅晶圆上的结构制作。FIB虽然可以实现硅晶圆结构,但会对硅表面造成损伤并产生缺陷,硅晶圆开裂的风险较高。

为了找到替代方案,研究团队尝试了一套特殊光刻技术。“首先,我们使用等离子体气体刻蚀硅表面无光刻胶保护的区域,从而获得我们所需的结构——微型硅柱。”该研究小组负责人Jeff Wheeler的学生Ming Cheng解释说,“在接下来的工艺步骤中,硅柱表面被氧化,氧化层厚度小于100 nm,再用氟化氢(HF)完全去除氧化层,完成表面清洁。”

研究团队对硅柱的强度和塑性变形能力进行了测试,称已经达到了超高的弹性应变极限和接近完美的强度——用光刻技术制作的硅柱变形能力是过去研究记录的十倍以上。
左图为硅柱制造流程示意图,右图为电子显微镜下的硅柱形貌展示
在电子显微镜下观察不同直径尺寸的硅柱


实现“绝对纯度”,接近理论水平的坚固度

研究结果表明不仅硅柱的变形能力比过去增强了十倍,强度也达到了以往认知中只有理想晶体才能达到的理论水平。根据Wheeler介绍,硅柱如此坚固的原因来自硅柱表面的“绝对纯度”,这是通过最后的清洁步骤实现的。该工艺大大减少了会导致硅材料开裂的表面缺陷数量。
采用光刻工艺完成的硅柱(实线)和FIB工艺完成的硅柱(虚线)在恒定应变速率为5 × 10?? s?1变化下的应力曲线对比

Wheeler还指出,团队的研究结果可能会对硅基MEMS制造产生直接而深刻的影响:“通过这种工艺,有望将智能手机中的MEMS陀螺仪做得更小、更坚固。”

Wheeler及其团队研究的工艺方法已经被业界采用,用于改善现有工艺,以及晶体结构与硅类似的其它材料性能。

该项研究带来的另一个优点是可以改善材料的电性能。对硅施加较大的应力可以改善电子迁移率,将该结构集成到半导体芯片中可以缩短开关时间。

电影天堂网免费在线观看微信号:ayiwangapp17

(来源: 中国仪器仪表行业协会 )

标签:

上一篇:俄罗斯科学院用“光谱-RG”太空望远镜绘制出世界最佳“全天空x射线图像” 下一篇:艾默生DataManager高级软件助力炼油厂健康运营

相关新闻

河北省大海陀国家级自然保护区管理处生态监测仪器采购项目公开招标公告 发布时间:2020/6/29
开标时间:2020年07月21日08时30分项目名称:生态监测仪器采购机构项目编码:HB2020069900050001项目联系人:李文娟项目联系电话:0313-6219388采购人:河北省大海陀国家
肇庆市环境科学研究所2020年仪器设备购置项目公开招标公告 发布时间:2020/6/29
  【阿仪网 行业商机】肇庆市环境保护监测站2020年仪器设备购置项目 招标项目的潜在投标人应在 广东省肇庆市端州三路37号第7幢201写字楼(肇庆市公共资源交易中心对面) 获取招标文件,并于 202
兰州化物所在柔性应变(摩擦)传感领域取得系列进展 发布时间:2020/6/29
  【阿仪网 行业资讯】柔性传感器是可穿戴电子设备的核心部件之一。随着5G时代的到来,柔性传感器越来越受到关注。但是,柔性传感器材料在实际应用过程中面临环境温度的制约。例如,当前所报道的弹性体基底材料
生态环境部发布关于建立实施汽车排放检验与维护制度的通知 发布时间:2020/6/29
  【阿仪网 行业资讯】生态环境部发布关于建立实施汽车排放检验与维护制度的通知。各省、自治区、直辖市、新疆生产建设兵团生态环境厅(局)、交通运输厅(局、委)、市场监督管理局(委、厅):为贯彻落实《中华
GMI报告:2026年气体传感器市场估值将超过20亿美元 发布时间:2020/6/29
【阿仪网 行业资讯】近日,据GMI报告“气体传感器市场预测”指出,到2026年,气体传感器的市场估值将超过20亿美元,互联设备、物联网和无线技术与传感器的集成来收集实时监测数据
艾默生DataManager高级软件助力炼油厂健康运营 发布时间:2020/6/29
  【阿仪网 行业资讯】近日,艾默生新型DataManager v8.2软件帮助炼油厂监测氢氟酸(HF)烷基化装置的腐蚀程度,防止因意外停车导致重大损失,同时提高利润和产能。DataManager分析
广告

图片视点

新型光刻技术解决硅材料脆性难题,MEMS机械性能极限有望突破

优质产品

版权声明

凡本网注明"来源:阿仪网"的所有作品,版权均属于阿仪网,未经本网授权不得转载、摘编或利 用其它方式使用。已获本网授 权的作品,应在授权范围内使用,并注明"来源:阿仪网"。违者本网将追究相关法律责任。

电影天堂网免费在线观看 本网凡注明"来源:xxx(非本网)"的作品,均转载自其它媒体,转载目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点和对其 真实性负责,且不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。如其他媒体、网站或个人从本网下载使用 ,必须保留本网注明 的"稿件来源",并自负版权等法律责任。

如涉及作品内容、版权等问题,请在作品发表之日起两周内与本网联系,否则视为放弃相关权利。

旗下频道